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　　目前，国外市场上 已有商用的兆赫91视频APP下载污。这类设备用于半导体出产线上 ，在对100—300mm硅片的清洗中，可除掉硅片表面上小到0.15μm的细小颗粒，并且可加快漂洗过 程并有效地阻挠粒子在硅片表面上从头附着。